激光干涉儀的校準(zhǔn)與精度驗(yàn)證‍如下：

　　激光干涉儀在購置投入使用前應(yīng)進(jìn)行關(guān)鍵性能的驗(yàn)證。且隨著使用年限的增加，激光干涉儀(包括環(huán)境補(bǔ)償系統(tǒng))的性能可能會(huì)因老化或使用不當(dāng)出現(xiàn)衰退，對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保在精密測量應(yīng)用中獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。

　　根據(jù)國家計(jì)量檢定規(guī)程的要求，需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補(bǔ)償傳感器進(jìn)行定期校準(zhǔn)。

　　激光干涉儀的功能及調(diào)整如下：

　　1、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

　　2、具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等;同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

　　3、內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。

　　4、具有動(dòng)態(tài)測量及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測量與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。